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型号 | INSPECT300 | INSPECT400 | INSPECT500 | |||||
X、Y轴行程(mm) | 300*200 | 400*300 | 500*400 | |||||
载物台玻璃尺寸(mm) | 357*257 | 457*357 | 557*457 | |||||
Z轴行程(mm) | 100 | |||||||
X、Y、Z轴分辨率 (μm) | 1 | |||||||
长度标准 | 光栅位移传感器 | |||||||
精度 (μm) | 2.5+L/150 L=被测工件长度,单位:mm | |||||||
仪器操作 | 手动 | |||||||
图像检测装置 | 高分辨率CCD摄像机 | |||||||
五段变倍鼻轮物镜倍数 | 5X | 10X | 20X | 50X | ||||
目镜 | WF10X | |||||||
测量软件 | 专业2D测量软件 | |||||||
光源 | 反射照明 | 同轴落射光源 | ||||||
透射照明 | LED平行透射光源 | |||||||
电源 | AC100~240V 50/60Hz |